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Accurion i4系列主動隔振臺如何重新定義精密測量穩定性

更新時間:2025-02-05      點擊次數:199

突破低頻振動隔離瓶頸:Accurion i4系列主動隔振臺如何重新定義精密測量穩定

  高精度測量的隱形挑戰——無處不在的振動干擾

在納米級顯微成像、半導體檢測、光學精密加工等高精尖領域,設備對環境的敏感度遠超想象。即使微米級的振動,也可能導致測量數據失真、工藝良率下降或科研結論偏差。傳統被動隔振方案雖能緩解高頻振動,卻難以應對低頻共振這一難題。Accurion歐庫睿因i4系列桌面式主動隔振系統的誕生,改寫了振動控制的技術邏輯,為超精密測量構筑起防護屏障。


產品核心優勢:主動隔振技術解決行業痛點

1. 低頻振動隔離的 突破
傳統被動隔振臺在1Hz以下頻段會因共振放大振動能量,而i4系列通過六自由度主動補償技術,從0.6Hz起即實現振動抑制,在10Hz時隔離效率高達99%(-40dB)。這種"反向消除"機制可實時生成反作用力,直接抵消振動波,而非被動吸收能量。

2. 效率躍升:30秒→0.3秒的穩定時間
得益于全數字控制系統,i4系列將設備穩定時間壓縮至0.3秒,較傳統氣浮臺提速100倍。這意味著科研人員每小時可完成更多有效測量,設備利用率提升顯著。

3. 全場景適應性設計

智能負載匹配:0-120kg寬域承重,兼容顯微鏡、激光干涉儀等各類精密設備

緊湊工業化設計:400×500×90mm超薄機身,輕松集成于現有實驗臺

零氣源依賴:220V電源直連,擺脫壓縮空氣管路束縛


技術亮點解析:六大創新維度構筑技術壁壘

六維主動補償矩陣
通過XYZ軸平移與旋轉的復合控制,精準消除建筑振動、人員走動、設備啟停等復雜擾動。

自研MIMO控制算法
采用多輸入多輸出自適應濾波技術,在0.6-200Hz超寬頻帶內實現動態振動追蹤與抵消。

超剛性主動懸架
1Hz時系統剛度達被動隔振臺的30倍,確保載物臺位移控制在±2μm以內。

智能工況感知系統
內置加速度傳感器陣列實時監測環境振動譜,自動優化控制參數應對突發擾動。

應用場景:從實驗室到工業現場的精準守護

科研領域
? 原子力顯微鏡(AFM)納米級表面形貌測量
? 共聚焦顯微鏡活體細胞動態觀測
? 量子計算超導電路環境控制

制造
? 光刻機晶圓對準系統振動抑制
? 精密軸承圓度測量誤差修正
? 激光直寫設備微結構加工

特殊場景
? 高層建筑內振動敏感實驗
? 地鐵沿線廠房精密檢測工位
? 多設備混用車間的振動隔離


技術參數速覽


項目

參數

隔振起始頻率

0.6Hz


最佳隔振效率

10Hz時-40dB(99%)


穩定時間

≤0.3秒


承載能力

0-120kg動態自適應


外形尺寸

400×500×90mm(W×D×H)


供電要求

220V/50Hz標準電源





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